来源:东方头条 时间:2020-01-02 15:52:36
集微网消息(文/图图)近日,中微半导体发布公告称,中微半导体及其全资子公司南昌中微半导体设备有限公司(以下简称“南昌中微”)自2019年12月6日至2019年12月31日,累计获得政府补助款项共计人民币2,441.12万元。
2019年9月28日,中微半导体就曾发布公告称,该公司旗下的全资子公司南昌中微自2019年8月31日至2019年9月27日,累计获得政府补助款项共计人民币6003.15万元。
中微半导体是我国集成电路设备行业的领先企业,聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。2019年12月消息显示,中微半导体的刻蚀机已经顺利通过台积电5纳米工艺的验证,并且拿到4道制程,创造了中国半导体设备的又一个里程碑。(校对/小北)
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